一种冷水辊及原子层沉积设备
基本信息
| 申请号 | 2020206698111 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212426181U | 公开（公告）日 | 2021-01-29 |
| 申请公布号 | CN212426181U | 申请公布日 | 2021-01-29 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李哲峰;乌磊 | 申请（专利权）人 | 深圳市原速光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 薛福玲 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种冷水辊及原子层沉积设备，其中冷水辊主要包括外筒和内筒。内筒的轴心位置开设第一流道，且内筒套设于外筒内，外筒的周壁与内筒的周壁之间形成第二流道，第二流道呈螺旋设置，第一流道与所述第二流道连通，可使冷水从第一流道进入，再流至第二流道内，由于第二流道呈螺旋设置，使得第二流道内的水流与冷水辊的接触面积增大，有效降低冷水辊的热量，提高冷水辊与卷料之间的热交换效果。 |
