卷料装置及原子层沉积设备
基本信息
| 申请号 | CN202020672791.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212335296U | 公开（公告）日 | 2021-01-12 |
| 申请公布号 | CN212335296U | 申请公布日 | 2021-01-12 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李哲峰;乌磊 | 申请（专利权）人 | 深圳市原速光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 胡海国 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区新安街道群辉路1号优创空间一号楼511-513 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种卷料装置及原子层沉积设备，其中，卷料装置包括驱动件、第一承重座、第二承重座、卷料轴及原点检测装置，第一承重座上设置有第一安全夹头，第二承重座与第一承重座相对设置，第二承重座上设置有第二安全夹头，卷料轴具有相对的安装端及驱动端，安装端与第二安全夹头转动连接，驱动端与第一安全夹头转动连接，并用于与驱动件驱动连接，以使卷料轴用于对缠绕设置于其上的待沉积样品进行卷料处理，原点检测装置安装于驱动件上，原点检测装置用于检测第一安全夹头的转动位置，以使第一安全夹头复位至预设安装位置。本实用新型改进了卷料装置的安全夹头及其连接部件的结构，提升了卷料装置的装配效率，节省了装配所需的时间。 |
