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异质键合成型装置

基本信息

申请号	CN201310411142.2	申请日	-
公开（公告）号	CN103466542B	公开（公告）日	2016-02-03
申请公布号	CN103466542B	申请公布日	2016-02-03
分类号	B81C3/00(2006.01)I	分类	微观结构技术〔7〕;
发明人	白向阳	申请（专利权）人	铜陵太阳岛农业科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	214434 江苏省无锡江阴市砂山路85号B4室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种异质键合成型装置，包括工作台，工作台上固定设置吊运物料的吊装机构，吊装机构的下方设置上板机构、点胶机构、上片机构、键合机构。上板机构包括由电机驱动做上下运动的放置物料M的物料板。点胶机构包括沿工作台纵向运动的限定物料M的限位槽，限位槽的上方设置沿工作台横向和垂直运动的点胶针头。键合机构包括定位盘，定位盘的至少一个边设置向底部收口的倾斜角度为55～65°的导入槽。上片机构包括放置物料N的第二物料板，第二物料板的下方设置上下运动的推板。所述吊装机构包括沿工作台横向和垂直运动的真空吸盘。本发明采用吊装机构以及辅助定位装置，极大的解决了异质键合过程高精度定位、重复性定位以及高进度可操控性的难题。