基于平面螺型结的耐高压元件
基本信息
| 申请号 | CN201921625029.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210467849U | 公开（公告）日 | 2020-05-05 |
| 申请公布号 | CN210467849U | 申请公布日 | 2020-05-05 |
| 分类号 | H01L29/06;H01L21/265;H01L21/22 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 曲迪;明辰;白国人;王磊;李康;陈景春 | 申请（专利权）人 | 华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人 | 天津华慧芯科技集团有限公司;华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 地址 | 300467 天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于平面螺型结的耐高压元件，涉及半导体技术领域，其特征在于：至少包括：单晶硅片、位于单晶硅片上表面的第二导电类型轻掺层和第一绝缘层、位于第二导电类型轻掺层一端的第一导电类型重掺杂层、位于第二导电类型轻掺层另一端的第二导电类型重掺层、与第一导电类型重掺杂层连通的第一电极、与第二导电类型重掺层连通的第二电极；第二导电类型轻掺层成螺旋结构；所述第一绝缘层位于第二导电类型轻掺层的两侧；第二导电类型轻掺层、第一绝缘层、第一导电类型重掺杂层和第二导电类型重掺层位于同一平面内；第一电极垂直于上述平面；所述第二电极垂直于上述平面；位于平面上的第二绝缘层。 |
