一种可移动的光刻板固定夹具
基本信息
| 申请号 | CN201920519600.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211403119U | 公开（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申请公布号 | CN211403119U | 申请公布日 | 2020-09-01 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 曲迪;闫青芝;陈墨;白国人;宋学颖;靳春艳 | 申请（专利权）人 | 华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人 | 天津华慧芯科技集团有限公司;华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 地址 | 300467天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可移动的光刻板固定夹具，涉及半导体制备设备技术领域，包括可移动的支撑台和若干组真空吸附装置，涉及半导体制备设备技术领域，所述支撑台上开设有圆形通孔，所述真空吸附装置沿所述通孔的周向均匀的设在支撑台的上端面；光刻板通过真空吸附装置居中的吸附在支撑台的下端面。每组所述真空吸附装置包括若干个与所述通孔同轴设置的通透真空孔，每组真空吸附装置中的真空孔上端面设有一个与支撑台吸附的真空吸盘；所述真空吸盘的底部中心设有与该组真空孔连通的真空管；所有真空管的末端与一个真空开关连接。该固定夹具不仅便于调整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根据需要随时移动到指定位置。 |
