首页/ 华慧科锐（天津）科技有限公司/ 专利详情

基于W3光子晶体缺陷波导的分布式反馈激光器及制备方法

基本信息

申请号 CN202010671274.9 申请日 -
公开（公告）号 CN111916998A 公开（公告）日 2020-11-10
申请公布号 CN111916998A 申请公布日 2020-11-10
分类号 H01S5/12;H01S5/10 分类 基本电气元件;
发明人 黄翊东;崔开宇;刘仿;冯雪;张巍 申请（专利权）人 华慧科锐（天津）科技有限公司
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 代理人 苗晓静
地址 100084 北京市海淀区双清路30号清华大学
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供一种基于W3光子晶体缺陷波导的分布式反馈激光器及制备方法，分布式反馈激光器包括P电极、P掺杂层、量子阱有源层、N掺杂层和N电极；有源光子晶体波导层中包括有两个微孔波导阵列，分布在P电极的两侧，微孔波导阵列由多个微孔按照预设阵列结构排列形成，每个微孔均贯穿P掺杂层、量子阱有源层和N掺杂层，并在衬底上表面截止；沿线缺陷光子晶体波导方向去除二维图形结构中的3列微孔，形成W3光子晶体缺陷波导。本发明实施例利用W3光子晶体缺陷波导中前向波与反向波耦合产生的慢光效应设计超短激光谐振腔，从而可以降低芯片体积，进而可以降低器件成本并提高芯片可集成性能。