一种电子束蒸镀设备用可同时自转和公转的样片盘载具
基本信息
| 申请号 | CN202022703197.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213895980U | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN213895980U | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | C23C14/30（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宋学颖;白国人;林海鹏;陈帅;陈景春;王磊;李玉源;曲迪 | 申请（专利权）人 | 华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蒙建军 |
| 地址 | 300456天津市滨海新区中新天津生态城滨鸿创业园二区2#1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种电子束蒸镀设备用可同时自转和公转的样片盘载具，属于半导体材料技术领域，其特征在于，包括：由电机带动实现旋转运动的中轴；固定安装在中轴上的主动齿轮盘；与中轴同轴设置圆盘；圆盘的内侧设置有内齿轮；固定圆盘的固定轴；设置于主动齿轮盘和圆盘之间的多个样品盘；样品盘分别与所述内齿轮、主动齿轮盘相啮合，固定轴不少于两个。本申请将现有技术中的中间轴更换成一个带齿轮的结构，在原结构的最外圈悬挂一个有内齿轮的圆盘，这个圆盘通过固定轴固定，在中间轴和圆盘直接放置多个小尺寸的样品盘，这样，样品盘就能够达到既可以自转也可以公转的效果，放置在这样的样品盘上的芯片的膜厚将更加均匀。 |
