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一种单片晶圆显影花篮

基本信息

申请号 CN202022714905.9 申请日 -
公开（公告）号 CN213340308U 公开（公告）日 2021-06-01
申请公布号 CN213340308U 申请公布日 2021-06-01
分类号 H01L21/673（2006.01）I;G03F7/30（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 宋学颖;陈帅;王磊;陈景春;白国人;李玉源;曲迪 申请（专利权）人 华慧科锐（天津）科技有限公司
代理机构 天津市鼎和专利商标代理有限公司 代理人 蒙建军
地址 300456天津市滨海新区中新天津生态城滨鸿创业园二区2#1层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单片晶圆显影花篮，属于半导体材料技术领域，其特征在于，至少包括：圆环结构的托盘；所述托盘由圆环结构的上托盘和下托盘叠加而成，上托盘和下托盘为一体成型结构，所述托盘的外侧壁开设有卡槽；所述托盘上开设有上下片豁口；把手；所述把手与托盘的外侧壁连接。本申请中的单片晶圆显影花篮结构简单合理，适用于单片晶圆的显影操作，通过将显影面朝下倒置显影保证了晶圆表面光刻图形不被沾污；通过卡槽使晶圆在显影晃动时能够稳固晶圆片不易滑落；花篮托盘在显影时可完全浸没与显影液中，使显影液与曝光后的光刻胶充分溶解。显影花篮把手便于对晶圆的移动，可以及时的将晶圆由显影液转移到定影液中，提升了显影精度。