一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具
基本信息
| 申请号 | CN201920524111.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209980011U | 公开（公告）日 | 2020-01-21 |
| 申请公布号 | CN209980011U | 申请公布日 | 2020-01-21 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 闫青芝;曲迪;陈墨;白国人;靳春艳 | 申请（专利权）人 | 华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人 | 天津华慧芯科技集团有限公司;华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 地址 | 300467 天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种适用于小尺寸基片的光刻用真空基片夹具，涉及半导体制备技术领域，该真空基片夹具包括真空载物台；载物台内设有N组真空吸附结构；每个真空吸附结构下端连接有抽真空结构；每组真空吸附结构包括沿载物台厚度方向设置的M个第一真空孔，第一真空孔为通孔；相邻的第一真空孔之间通过设在载物台内部的真空槽相连通；还包括设在载物台上可拆卸的辅助装置；该辅助装置上设有与第一真空孔连通的第二真空孔；基片覆盖在第二真空孔之上；辅助装置上端与基片紧密贴合，辅助装置下端与载物台紧密贴合。该夹具不仅便于调整基片位置、而且能够一机多用，提高夹具利用率、降低成本。 |
