一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装
基本信息
| 申请号 | CN202022714343.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213680870U | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN213680870U | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 宋学颖;白国人;林海鹏;陈帅;陈景春;王磊;曲迪 | 申请（专利权）人 | 华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蒙建军 |
| 地址 | 300456天津市滨海新区中新天津生态城滨鸿创业园二区2#1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装，属于磁控溅射设备技术领域，其特征在于，至少包括：长度为a的水平板；固定于水平板一端的左侧翘板；固定于水平板另一端的右侧翘板；其中：所述左侧翘板和右侧翘板的长度均为b；且所述左侧翘板和右侧翘板位于水平板的同一侧，三者为共面关系，所述左侧翘板和水平板之间的夹角为135度，所述右侧翘板和水平板之间的夹角为135度；在所述左侧翘板和右侧翘板的中心分别开设有一个4mm直径的螺丝孔，所述左侧翘板、水平板和右侧翘板为一体成型结构，所述左侧翘板、水平板和右侧翘板为不锈钢制成。通过采用上述技术方案，本实用新型具有固定不同高度样品的功能。 |
