一种COFFilm蚀刻底板及蚀刻槽
基本信息
| 申请号 | CN202120522742.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214736098U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214736098U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | C23F1/08（2006.01）I;C23F1/02（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴昱蓉;吴宗祐;叶文亮 | 申请（专利权）人 | 合肥颀材科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 谭新民 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种COF Film蚀刻底板及蚀刻槽，包括基板（1），基板（1）由顶面（2）、底面（3）、左面、右面、前面和后面组成，所述顶面（2）为外弧面，底面（3）为内弧面。本实用新型将蚀刻工序的短路或断路不良率由2％降低到0.2％。 |
