一种COF制程蚀刻液自主回收系统及蚀刻系统
基本信息
| 申请号 | CN202120520075.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214400728U | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN214400728U | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | C23F1/46;C23F1/08 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张明超;陈文勇;郑先锋;左长云 | 申请（专利权）人 | 合肥颀材科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 谭新民 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种COF制程蚀刻液自主回收系统及蚀刻系统，包括蚀刻上单元、蚀刻下单元、回收单元、第一造液单元、第一添加剂原液单元、第二添加剂原液单元、酸原液单元、第一送液单元、第二送液单元、第二造液单元和强氧化剂原液单元，蚀刻上单元与蚀刻下单元通过管道连接。本实用新型大大减少了高成本的蚀刻添加剂的使用，控制了药液成本，同时减少了对环境的影响和废液处理的成本。 |
