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一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备

基本信息

申请号 CN201820517075.0 申请日 -
公开（公告）号 CN208028023U 公开（公告）日 2018-10-30
申请公布号 CN208028023U 申请公布日 2018-10-30
分类号 H01L21/66;H01L33/00 分类 基本电气元件;
发明人 周俊晨;陆敏杰 申请（专利权）人 无锡纵合创星科技有限公司
代理机构 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） 代理人 无锡纵合创星科技有限公司
地址 214000 江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园F7
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备，包括晶圆盒库、机械手、预对准平台和大理石气浮台，所述机械手的一侧设置有晶圆盒库，所述机械手的另一侧且与晶圆盒库成九十度的位置设置有预对准平台；本实用新型由于采用了12个晶圆片库，以及通过机械手抓取和放置晶圆片的方法，比起之前的人工放置晶圆片，单片检测的方式，检测效率大大提高了；本实用新型由于在最终检测前，添加了预对准平台部分，使得晶圆的放置定位精度远高于手工放置，使得检测精度大大提高；本实用新型由于检测台采用了大理石气浮平台，相比较于传统的机械检测平台，更加优良的平台性能使得检测精度大大提高。