一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法

基本信息

申请号 CN202110172590.6 申请日 -
公开(公告)号 CN112985774A 公开(公告)日 2021-06-18
申请公布号 CN112985774A 申请公布日 2021-06-18
分类号 G01M11/02;G01N21/25;G01B11/26 分类 测量;测试;
发明人 郑培权;黄增兴;林志阳;陈嘉劼;朱一柯;郑明全 申请(专利权)人 厦门特仪科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 361000 福建省厦门市厦门火炬高新区信息光电园金丰大厦809A室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法,包括以下步骤:1)、确定光谱仪的镜头与平台A轴垂直;2)、寻找B轴的机械圆心;3)、设定五轴的机械原点;4)、进行角度拟合;5)、实际产品放置于平台上时的X、Y、Z轴坐标。与现有技术相比,本发明提供的五轴角度测试方法具有成本低、精度高(1~2um级别),可满足小尺寸产品任意角度的测试。