校正机和镀膜夹具
基本信息
申请号 | CN202020751895.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212582002U | 公开(公告)日 | 2021-02-23 |
申请公布号 | CN212582002U | 申请公布日 | 2021-02-23 |
分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 辜批林;李庆跃;骆红莉;郭雄伟;黄文俊;林土全 | 申请(专利权)人 | 东晶电子金华有限公司 |
代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 尚志峰;王淑梅 |
地址 | 321000浙江省金华市婺城区宾虹西路555号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种校正机和镀膜夹具,校正机用于校正镀膜夹具,校正机包括平台、定位组件和校正组件;平台用于放置镀膜夹具;定位组件设置于平台的侧方;校正组件设置于平台的侧方,与定位组件相对设置。通过该校正机对镀膜夹具进行校正,减小因镀膜夹具各个部件之间的装配误差,而对镀膜夹具的装配精度的影响,使得镀膜夹具的装配精度更加精确,进而减小镀膜后的图案中心相对石英晶片中心位置的偏差,提升石英晶体谐振器的频率的一致性,满足晶体谐振器高精度化的要求。 |
