校正机和镀膜夹具

基本信息

申请号 CN202020751895.3 申请日 -
公开(公告)号 CN212582002U 公开(公告)日 2021-02-23
申请公布号 CN212582002U 申请公布日 2021-02-23
分类号 C23C14/50(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 辜批林;李庆跃;骆红莉;郭雄伟;黄文俊;林土全 申请(专利权)人 东晶电子金华有限公司
代理机构 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 尚志峰;王淑梅
地址 321000浙江省金华市婺城区宾虹西路555号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种校正机和镀膜夹具,校正机用于校正镀膜夹具,校正机包括平台、定位组件和校正组件;平台用于放置镀膜夹具;定位组件设置于平台的侧方;校正组件设置于平台的侧方,与定位组件相对设置。通过该校正机对镀膜夹具进行校正,减小因镀膜夹具各个部件之间的装配误差,而对镀膜夹具的装配精度的影响,使得镀膜夹具的装配精度更加精确,进而减小镀膜后的图案中心相对石英晶片中心位置的偏差,提升石英晶体谐振器的频率的一致性,满足晶体谐振器高精度化的要求。