一种磁旋转弧等离子体制备纳米硅球、纳米硅线的方法
基本信息
| 申请号 | CN202011475909.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112591755A | 公开（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申请公布号 | CN112591755A | 申请公布日 | 2021-04-02 |
| 分类号 | C01B33/021(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 杨启炜;闻光东;吴剑骅;张铭;李如龙;徐响;任其龙 | 申请（专利权）人 | 衢州晶洲科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡红娟 |
| 地址 | 324000浙江省衢州市春城路15号624室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种磁旋转弧等离子体制备纳米硅球、纳米硅线的方法，包括步骤：(1)工作气体通入等离子体炬内，经起弧后在外加磁场的作用下形成磁旋转弧等离子体；(2)以微米级的多晶硅粉体作为原料，以输送气体作为载气通入等离子炬，穿过步骤(1)所形成的磁旋转弧等离子体高温区熔融气化；(3)经步骤(2)处理后的产物随载气进入冷却室，通过喷嘴喷入淬冷气体进行冷却降温，得到纳米硅粉；所述纳米硅粉微观形貌为纳米硅球或纳米硅线。本发明方法以微米级的多晶硅粉体作为原料，能够制备出形貌可控的纳米硅球及纳米硅线，工艺简单、安全环保、过程连续可控、成本低廉，适用于纳米硅粉的大规模工业化生产。 |
