一种RIE制绒的黑硅电池的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201611067874.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108123009B | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN108123009B | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李化阳;张良;李良;王霞;姚玉;任海兵 | 申请（专利权）人 | 镇江大全太阳能有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 212211 江苏省镇江市扬中市新坝镇大全路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种RIE制绒的黑硅电池的制备方法，包括如下步骤：步骤S1，去除黑硅片的正表面损伤层，以及对黑硅片的背面进行抛光处理；步骤S2，对所述黑硅片的表面进行磷源扩散，制备PN结；步骤S3，对所述黑硅片进行清洗、RIE制绒，在黑硅片的正表面形成纳米绒面；步骤S4，对所述黑硅片的纳米绒面进行修复，以去除纳米绒面形成过程中的损失层；步骤S5，对所述黑硅片的正表面积淀上减反射膜；步骤S6，对所述黑硅片的背面分别印刷背银、铝浆后烘干，然后在其正表面印刷正银后烧结，即可得到黑硅电池。 |
