多功能酸洗台装置
基本信息
| 申请号 | CN202120367211.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214313143U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214313143U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨培新;陈俊峰;洪绍鑫 | 申请（专利权）人 | 淄博绿能芯创电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海段和段律师事务所 | 代理人 | 李佳俊;郭国中 |
| 地址 | 255025山东省淄博市高新区中润大道158号MEMS产业园区8#楼4楼416 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种多功能酸洗台装置，包括设备本体和控制装置，其中：设备本体中部设置有操作平台，操作平台上设置有酸槽和水洗槽；操作平台的上方设置有控制样品运动的机械臂；操作平台的周向侧壁设置有抽气系统；控制装置控制机械臂的运动，控制对酸槽、水洗槽的清洗程序。本实用新型解决了手动酸洗台酸槽种类少，针对晶圆尺寸单一，制程流程不连贯，使用过程繁琐等诸多问题，大大提升了使用设备时的安全性和便利性。 |
