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一种等离子体退火设备

基本信息

申请号 CN202022876090.4 申请日 -
公开（公告）号 CN213483721U 公开（公告）日 2021-06-18
申请公布号 CN213483721U 申请公布日 2021-06-18
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C30B33/02（2006.01）I;C30B33/04（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 廖奇泊 申请（专利权）人 淄博绿能芯创电子科技有限公司
代理机构 上海段和段律师事务所 代理人 李佳俊;郭国中
地址 255025山东省淄博市高新区中润大道158号MEMS产业园区8#楼4楼416
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种等离子体退火设备，包括真空腔室和退火腔室，所述真空腔室位于退火腔室上方，且所述真空腔室与退火腔室之间连通有连通口，所述真空腔室连通有进气管，所述真空腔室内设置有等离子源，所述等离子源位于进气管在真空腔室侧壁上的管口的下侧，且所述真空腔室内还设置有磁场过滤组件，所述退火腔室内设置有用于放置硅片的基台，所述基台上设置有下部电极，且所述基台位于连接口的正下方，且所述退火腔室上还设置有温度调节装置以及压力调节组件。实现在低温条件下对放置在基台上的硅片栅氧化层进行退火处理，减少了栅氧化层中的缺陷，进而有助于提高退火效果。