减薄机研磨轮及减薄机
基本信息
| 申请号 | CN202121350172.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215700776U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215700776U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | B24B37/11（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 黄威 | 申请（专利权）人 | 淄博绿能芯创电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海段和段律师事务所 | 代理人 | 李佳俊;郭国中 |
| 地址 | 255025山东省淄博市高新区中润大道158号MEMS产业园区8#楼4楼416 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种减薄机研磨轮及减薄机，包括：研磨轮、垫片和研磨面；所述研磨轮一侧设置所述研磨面，所述研磨轮一侧安装所述垫片，所述垫片和所述研磨面安置于同一侧，所述研磨面四周安置所述垫片。在研磨轮下降时，垫片起到缓冲作用，避免由于压力过大，使晶圆产生暗纹甚至破片等现象。 |
