一种多层电子支撑结构及其制造方法

基本信息

申请号 CN201610707982.7 申请日 -
公开(公告)号 CN106158811B 公开(公告)日 2019-05-14
申请公布号 CN106158811B 申请公布日 2019-05-14
分类号 H01L23/495(2006.01)I; H01L21/48(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王新潮; 陈灵芝; 张凯; 陆晓燕; 周佳炜; 任姣; 王津; 林昀涛 申请(专利权)人 江阴芯智联电子科技有限公司
代理机构 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 代理人 江阴芯智联电子科技有限公司
地址 214434 江苏省无锡市江阴市澄江街道长山路78号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种多层电子支撑结构及其制造方法,所述结构包括引脚,所述引脚包括第一层特征层(1)、第二层特征层(2)和第三层特征层(3),所述第二层特征层(2)和第三层特征层(3)通过一次电镀形成,所述第三层特征层(3)不小于第一层特征层(1),所述第一层特征层(1)、第二层特征层(2)和第三层特征层(3)外包覆有介电材料(4),所述第三层特征层(3)表面设置有微蚀刻凹槽(5)。本发明一种多层电子支撑结构及其制造方法,它解决了传统工艺无法实现或成本周期劣势的缺点,而且产品的厚度可以做到超薄,从而大大提高了产品在市场上的竞争优势。