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脊形阵列半导体激光器及其制作方法

基本信息

申请号 CN201610578278.6 申请日 -
公开（公告）号 CN107645121A 公开（公告）日 2018-01-30
申请公布号 CN107645121A 申请公布日 2018-01-30
分类号 H01S5/22;H01S5/343 分类 基本电气元件;
发明人 黄莹;李德尧;刘建平;张立群;张书明;杨辉 申请（专利权）人 杭州增益光电科技有限公司
代理机构 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 代理人 杭州中科极光科技有限公司;杭州增益光电科技有限公司
地址 310000 浙江省杭州经济技术开发区白杨街道21号大街600号2幢107室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种脊形阵列半导体激光器，包括衬底、形成于所述衬底上的外延结构，所述外延结构的顶部具有脊形半导体层，所述脊形半导体层包括多个脊形部，所述多个脊形部的宽度不相等。本发明提出的脊形阵列半导体激光器，通过在外延结构的顶部设置多个脊形部，多个脊形部的宽度不相等，能够降低激光器在工作时有源区中心与有源区两侧的温差，从而使得整个激光器结构温度分布均匀，使得激光器工作时输出特性一致。