一种晶圆加工的载物台
基本信息
| 申请号 | CN202120047222.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214043621U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214043621U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 夏华忠;黄传伟;李健;诸建周;吕文生;谈益民 | 申请（专利权）人 | 江苏东海半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 殷红梅;胡家铭 |
| 地址 | 214142江苏省无锡市新吴区硕放街道中通东路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆加工的载物台，包括台体，台体中心螺纹连接中心调整螺栓，中心调整螺栓外周设有若干周部调整螺栓，周部调整螺栓布置第一真空槽和第二真空槽，第一真空槽与第二真空槽之间设有镊子取物口，台体为圆形。本实用新型结构简单，易于实现，成本较低；只有在晶圆的边缘和中心部位有支撑和接触；中间的支撑柱高度可以调整；除了中间和边缘区域以外为镂空区域，不和晶圆接触。 |
