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一种晶圆与玻璃分离装置及方法

基本信息

申请号 CN201710122949.2 申请日 -
公开（公告）号 CN106783699A 公开（公告）日 2017-05-31
申请公布号 CN106783699A 申请公布日 2017-05-31
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王为新;袁翔;苏浩杰;邵佳裕 申请（专利权）人 爱立发自动化设备（上海）有限公司
代理机构 上海远同律师事务所 代理人 爱立发自动化设备（上海）有限公司
地址 200233 上海市徐汇区钦州北路1122号90幢厂房1-2楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆与玻璃分离装置及方法，该分离装置包括机架、上吸盘组件、位于上吸盘组件下方的下吸盘组件，所述下吸盘组件包括固定不动的下吸盘、贴合在下吸盘下的下加热器、穿设在下吸盘中能够升降的多根支撑柱，所述上吸盘组件包括上吸盘，贴合在上吸盘上的上加热器，所述机架上还设有能够驱动所述上吸盘组件竖向及左右移动的驱动组件，所述支撑柱的顶面具有吸嘴，所述上吸盘组件中具有压力传感器，所述上加热器和所述下加热器中均具有温度传感器。本发明能够实现将玻璃和晶圆片进行安全分离，具有分离效率高、破损率低的优点。