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消除象限光电探测器光电串扰的方法

基本信息

申请号	CN02128025.8	申请日	-
公开（公告）号	CN100517736C	公开（公告）日	2009-07-22
申请公布号	CN100517736C	申请公布日	2009-07-22
分类号	H01L27/14(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	朱华海	申请（专利权）人	重庆科业光电有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	400060重庆南坪金紫街126号2单元13-4（万寿花园）
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种消除半导体象限光电探测器光电串扰的方法，用于半导体无串扰象限光电探测器的制作。其特征在于：在半导体象限光电探测器各象限光敏元之间，用与象限光敏元同种掺杂类型杂质、同工艺条件、同时制作一个独立的隔离二极管。该隔离二极管与半导体象限光电探测器有一公共电极，另有一独立电极。隔离二极管的管芯形状根据半导体象限光电探测器管芯芯片的形状而定，是成十字形状，或梳状形状，或网状形状，或是它们的各种组合形状。应用时，该二极管经接偏置电路后构成短路连接，使产生的串扰光电流及该二极管因直接受光照产生的光电流一同短路，而不进临近的象限光敏元，从而消除光电串扰。应用该方法制作的半导体象限光电探测器与现有半导体象限光电探测器相比，其象限光敏元之间的光电串扰完全被消除，探测灵敏度、制导、跟踪、测距等的精度以及可靠性等性能大为提高。