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长波平面型光电探测器微型球透镜制作方法

基本信息

申请号 CN02133929.5 申请日 -
公开（公告）号 CN1492245A 公开（公告）日 2004-04-28
申请公布号 CN1492245A 申请公布日 2004-04-28
分类号 G02B6/136;G02B6/42;H04B10/12 分类 光学;
发明人 朱华海 申请（专利权）人 重庆科业光电有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 400060重庆市南岸区南坪花园路14号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种长波平面型光电探测器微型球透镜的制作方法，其特征在于：微型球透镜是在光电探测器管芯光敏面的衬底面，采用Ar+离子束刻蚀的方法制作的。将此种微型球透镜应用于光电探测器管芯背照面，可提高小结面积光电探测器管芯同光纤的耦合效率，从而提高了光电探测器的耦合效率。