一种蒸发舟的夹紧装置

基本信息

申请号 CN202021914301.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213113471U 公开(公告)日 2021-05-04
申请公布号 CN213113471U 申请公布日 2021-05-04
分类号 C23C14/24 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 巩鹏程;王前;宫伯昌;任学美 申请(专利权)人 山东鹏程陶瓷新材料科技有限公司
代理机构 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 王姝尹
地址 255086 山东省淄博市高新区长征路567号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种蒸发舟的夹紧装置,包括:夹紧部,夹紧部包括夹紧壳,夹紧壳内部活动连接有一夹紧板,蒸发舟的一连接端容纳在夹紧壳中并通过夹紧板将其与夹紧壳夹紧;滑动部,滑动部包括两端开口的矩形槽,夹紧壳嵌设在矩形槽中;连接部,连接部包括连接板、导电柔性带,矩形槽的槽底面与连接板的上板面固定,夹紧壳的侧面固定有导电柔性带,导电柔性带另一端与连接板的侧面固定。蒸发舟的连接端能够插入夹紧壳中并通过夹紧板对其进行紧固,将夹紧壳嵌设在矩形槽中,夹紧壳能够在矩形槽中滑动,该设置能够保证蒸发舟在通电加热导致的热胀冷缩时有充足的变形余量,保证蒸发舟的连接端与镀膜设备的电极能够可靠的连接,防止其接触不良。