进出料装置
基本信息
| 申请号 | CN201910152890.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111621765A | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN111621765A | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 韩晓琳;刘福山;刘洋 | 申请（专利权）人 | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 地址 | 037000山西省大同市云州街东延北侧7899号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种进出料装置，用于密闭腔室的进出料，密闭腔室上设置有供基材通过的开口，进出料装置包括：夹送辊组件，夹送辊组件包括第一夹送辊和第二夹送辊，第一夹送辊和第二夹送辊设置于密闭腔室的外侧，用于驱动基材进入或移出密闭腔室；间距调节机构，间距调节机构与第一夹送辊和/或第二夹送辊连接，用于调节第一夹送辊和第二夹送辊之间的间距。与现有技术相比，本发明进出料装置通过间距调节可以提高夹送辊与基材的密封效果，且可以兼容输送不同厚度的基材。 |
