供气装置
基本信息
| 申请号 | CN201910577685.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112144022A | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN112144022A | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | C23C14/34;C23C14/06 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张伟;江振南;杨永雷;见东伟;邬英 | 申请（专利权）人 | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 地址 | 037000 山西省大同市云州街东延北侧7899号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种供气装置，包括至少一个匀气室和安装板；所述匀气室用于将氛围气体缓冲后输出到镀膜腔，所述匀气室设有至少一个进气口和多个用于将氛围气体输送到所述镀膜腔的出气孔；所述安装板用于将所述匀气室与所述镀膜腔密封固定到一起。本申请采用匀气室将氛围气体气流缓冲均匀后再由出气孔输送到镀膜腔内，缓冲后的氛围气体压力均匀，从出气孔流出速度趋紧统一。 |
