一种晶圆化镀设备多功能机械手
基本信息
| 申请号 | CN201921594975.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210325747U | 公开（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申请公布号 | CN210325747U | 申请公布日 | 2020-04-14 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈素荣;何婷婷;王福亮;何虎;赵芹;陈利锋 | 申请（专利权）人 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中经济开发区南湖路66号8幢101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型揭示了一种晶圆化镀设备多功能机械手，包括升降机构、抓取动力机构、两根相互平行设置的横杆、在横杆上成对设置的抓钩，升降机构包括电机、丝杠、立管，抓取动力机构包括底座，横杆的后端可旋转的穿设在底座上，横杆的后端上固定连接有转动块，转动块上设有连接柱，两转动块上的连接柱之间设有拉力弹簧，底座上设有气缸、梯形块，还包括防撞保护机构、抓取检测机构。本实用新型的升降机构、抓取动力机构结构紧凑，需要占用的安装位置小，丝杠穿设在立管内部，提高了机械手整体的强度，设有防撞保护机构，可以减少机械手运行过程之中碰撞事故的发生概率，设有抓取检测机构，能够减少重复抓取物料或漏抓物料造成的损失。 |
