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硅芯料棒定位夹持机构

基本信息

申请号 CN202020636079.8 申请日 -
公开（公告）号 CN212733309U 公开（公告）日 2021-03-19
申请公布号 CN212733309U 申请公布日 2021-03-19
分类号 H01L21/67(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 邵树宝;王福亮;储冬华;陈利锋;赵芹;何婷婷;陈素荣 申请（专利权）人 江苏芯梦半导体设备有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 姚姣阳
地址 215000江苏省苏州市吴中经济开发区南湖路66号8幢101
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型揭示了一种硅芯料棒定位夹持机构，包括一根用于构成机构主体的支撑圆管以及至少两个嵌套设置于支撑圆管外周、用于完成对硅芯料棒定位夹持的固定组件；多个固定组件间平行且对称设置；每个固定组件均包括一块卡板主体以及多块可活动地设置于卡板主体周围的活动卡板，卡板主体与活动卡板的边沿位置均开设有卡齿，卡板主体与活动卡板二者上的卡齿成对设置，每对卡齿相咬合形成一个闭合的料棒卡槽，在硅芯料棒的定位夹持状态下、硅芯料棒被限位于料棒卡槽中。本实用新型以间隔式、卡扣式的形式完成了对硅芯料棒的夹持固定，保证了每根硅芯料棒均能够与药液充分接触、腐蚀均匀，有效地提升了加工的良率。