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清洗机花篮运送机构

基本信息

申请号 CN202010331491.3 申请日 -
公开（公告）号 CN111524831A 公开（公告）日 2020-08-11
申请公布号 CN111524831A 申请公布日 2020-08-11
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 -
发明人 邵树宝;王福亮;储冬华;陈利锋;赵芹;何婷婷;陈素荣 申请（专利权）人 江苏芯梦半导体设备有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 江苏芯梦半导体设备有限公司
地址 215000江苏省苏州市吴中经济开发区南湖路66号8幢101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明揭示了一种清洗机花篮运送机构，包括一个用于承载待清洗晶圆片的花篮以及一个用于带动花篮进行圆周方向摆动的驱动组件，还包括用于限制花篮垂直方向行程的垂直限位组件以及用于限制花篮水平方向行程的水平限位组件，水平限位组件与垂直限位组件二者活动连接、花篮与垂直限位组件二者活动连接；在水平限位组件与垂直限位组件二者的配合作用下，花篮在圆周方向的摆动被分解和转化为在水平、垂直两个方向上的移动。本发明通过增加水平和垂直两个方向上的机械限位结构，将摆臂摆动过程中花篮的圆弧运动转化为两个方向上的直线运动，从而改进了机构整体的机械关系，显著地提升了机构使用的稳定性。