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清洗机花篮驱动装置

基本信息

申请号 CN202020635257.5 申请日 -
公开（公告）号 CN211719566U 公开（公告）日 2020-10-20
申请公布号 CN211719566U 申请公布日 2020-10-20
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 储冬华;赵芹;邵树宝;王福亮;陈利锋;何婷婷;陈素荣 申请（专利权）人 江苏芯梦半导体设备有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 江苏芯梦半导体设备有限公司
地址 215000江苏省苏州市吴中经济开发区南湖路66号8幢101
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型揭示了一种清洗机花篮驱动装置，与清洗设备相匹配，包括用于承载待清洗晶圆片的花篮机构，还包括用于带动花篮机构进行圆周方向摇动的晃动机构以及用于带动花篮机构进行垂直方向上整体移动的提升机构；花篮机构的设置位置与清洗设备的化学清洗槽的位置相匹配，花篮机构与晃动机构间传动连接、并通过晃动机构与提升机构间传动连接，提升机构与清洗设备的上隔板固定连接。本实用新型通过良好的机械传动结构，减少了伺服电机的使用，降低了装置局部的材料承载力的要求，在显著提升装置使用过程中的稳定性的同时，还充分地控制了装置整体的生产成本、减轻了加工企业的负担。