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晶圆片腐蚀清洗笼

基本信息

申请号 CN202010332033.1 申请日 -
公开（公告）号 CN111508873A 公开（公告）日 2020-08-07
申请公布号 CN111508873A 申请公布日 2020-08-07
分类号 H01L21/67 分类 -
发明人 邵树宝;王福亮;储冬华;陈利锋;赵芹;何婷婷;陈素荣 申请（专利权）人 江苏芯梦半导体设备有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 江苏芯梦半导体设备有限公司
地址 215000 江苏省苏州市吴中经济开发区南湖路66号8幢101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明揭示了一种晶圆片腐蚀清洗笼，包括笼体框架及驱动组件两部分组成；笼体框架由多块晶圆片隔板及多根开齿连接轴组成，多块晶圆片隔板上均开设有一条相同的滑动限位槽，多块晶圆片隔板间平行设置并连接形成一个整体，其中一根开齿连接轴可活动地按序依次穿设于多块晶圆片隔板上的滑动限位槽内；驱动组件包括至少一组传动齿轮组，每组传动齿轮组均包括一个主动齿轮及多个从动齿轮，每个从动齿轮均固定设置于一根开齿连接轴的端部，主动齿轮与从动齿轮间啮合传动。本发明通过带动晶圆片整体旋转的方式，完成了对晶圆片的腐蚀清洗，整个操作过程中晶圆片与药液接触充分，产品腐蚀均匀，有效避免了产品的二次返工、提升了产品的良率。