一种半导体级石英环的洗净方法
基本信息
| 申请号 | CN202110565279.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113231372A | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN113231372A | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | B08B1/04（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/04（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 房玉林;杨军;邹琴 | 申请（专利权）人 | 江苏富乐德石英科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥锦辉利标专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈铄 |
| 地址 | 224200江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体级石英环的洗净方法，该方法具体包括下述步骤：步骤一：选取出需要进行洗净的产品，先用异丙醇来擦拭石英产品，除去粗的污染物和油脂；步骤二：在异丙醇擦拭后，通过冲洗装置对产品表面进行纯水冲洗，确保产品无可视污染物；步骤三：通过纯水冲洗后将产品放入洗净槽，对产品进行浸泡，浸泡时间控制30‑50分钟；步骤四：将在洗净槽内浸泡过后的产品取出，再进行纯水漂洗；本发明通过向下按动推动板，使得推动板带动支撑杆向着远离转盘的方向运动，从而使得第一清洗头与第二清洗头之间的距离增加，将产品放入到冲洗槽内，快速对产品本体进行放置，节省清洗前准备工作所消耗的时间，提高工作效率。 |
