一种用于真空密封的石英产品的加工方法
基本信息
| 申请号 | CN202110634594.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113414890A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113414890A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | B28D5/04（2006.01）I;B24B7/22（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;C07C51/09（2006.01）I;C07C59/68（2006.01）I;C11D1/06（2006.01）I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 邹琴;杨军;房玉林 | 申请（专利权）人 | 江苏富乐德石英科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥锦辉利标专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈铄 |
| 地址 | 224200江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于真空密封的石英产品的加工方法，涉及高纯石英加工领域，通过将高纯石英材料线切割、平面研磨、加工中心加工、平面研磨、加工中心加工及面抛光、脱脂洗净、煮沸洗净、超声波洗净、化学洗净、包装，得到的石英产品表面外观状态良好，石英产品的关键真空面得到有效保证，工艺路线简单，尺寸精度高，可批量制造，能够满足目前半导体行业设备需求；该加工方法中通过将石英粗品放置于洗涤液中进行化学洗净，洗涤液由洗涤助剂溶于水中制成，洗涤助剂的分子是一种四个苯环、三条疏水长链的分子结构，表面活性高，能够将油脂、灰尘、金属离子脱离石英粗品表面而进入水中，使得该石英产品表面洗涤的充分，洁净度高。 |
