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一种真空封装装置

基本信息

申请号 CN202210012059.7 申请日 -
公开（公告）号 CN114199416A 公开（公告）日 2022-03-18
申请公布号 CN114199416A 申请公布日 2022-03-18
分类号 G01L1/00（2006.01）I;G01L19/00（2006.01）I;G01L21/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 吴廷兵;喻立川 申请（专利权）人 重庆四联测控技术有限公司
代理机构 重庆百润洪知识产权代理有限公司 代理人 程宇
地址 401120重庆市北部新区黄山大道中段61号3号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及绝对压力传感器真空封装装置技术领域，具体为一种真空封装装置，包括机架、抽真空装置、密封箱和控制装置，所述密封箱的正面设置有密封门，所述密封箱内设置有密封腔，所述密封腔内设置有多组压合结构，所述密封箱的顶部设置有多个真空计，所述抽真空装置用于给所述密封腔抽真空，真空计用于监测密封腔内的真空度；使用时，打开密封门将绝对压力传感器和钢珠放入密封腔，关闭密封门，控制装置通过控制抽真空装置给密封腔的腔体内抽真空，通过多个真空计时时检测密封腔内的真空度，通过压合结构将钢珠压合封装到绝对压力传感器中；本发明真空封装效果好，提高了绝对压力传感器的生产合格率，缩短了绝对压力传感器的生产周期。