氧化铝真空镀膜机
基本信息
申请号 | CN202022105292.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214327856U | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN214327856U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 周兴 | 申请(专利权)人 | 启东申通电子机械配件有限公司 |
代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蒯建伟 |
地址 | 226200江苏省南通市启东市汇龙镇新洪南路99号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种氧化铝真空镀膜机,包括真空箱体、镀膜鼓、挡板以及铝源;真空箱体一侧通过抽管连接抽真空机;真空箱体内设有镀膜鼓,镀膜鼓下方设有铝源,镀膜鼓与铝源之间形成蒸镀空间,镀膜鼓的两侧设有挡板,蒸镀空间一侧设有氧气输送管、另一侧设有氮气输送管,蒸镀空间内设有一个水平设置的转轴,转轴的中间位置通过连接杆与真空箱体固定连接,转轴与连接杆呈垂直关系,转轴的两端设有扇叶,转轴一端的扇叶与氧气输送管的出气口相对、另一端的扇叶与氮气输送管的出气口相对。本实用新型的扇叶的转动不需要添加外动力,只要有氧气或氮气进入就能吹动扇叶,具有节能的优点。且生产时具有生产效率高、质量高等优点。 |
