氧化铝真空镀膜机

基本信息

申请号 CN202022105292.9 申请日 -
公开(公告)号 CN214327856U 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN214327856U 申请公布日 2021-10-01
分类号 C23C14/08(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 周兴 申请(专利权)人 启东申通电子机械配件有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 蒯建伟
地址 226200江苏省南通市启东市汇龙镇新洪南路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种氧化铝真空镀膜机,包括真空箱体、镀膜鼓、挡板以及铝源;真空箱体一侧通过抽管连接抽真空机;真空箱体内设有镀膜鼓,镀膜鼓下方设有铝源,镀膜鼓与铝源之间形成蒸镀空间,镀膜鼓的两侧设有挡板,蒸镀空间一侧设有氧气输送管、另一侧设有氮气输送管,蒸镀空间内设有一个水平设置的转轴,转轴的中间位置通过连接杆与真空箱体固定连接,转轴与连接杆呈垂直关系,转轴的两端设有扇叶,转轴一端的扇叶与氧气输送管的出气口相对、另一端的扇叶与氮气输送管的出气口相对。本实用新型的扇叶的转动不需要添加外动力,只要有氧气或氮气进入就能吹动扇叶,具有节能的优点。且生产时具有生产效率高、质量高等优点。