连续镀膜溅镀系统
基本信息
| 申请号 | CN202022202365.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214529219U | 公开（公告）日 | 2021-10-29 |
| 申请公布号 | CN214529219U | 申请公布日 | 2021-10-29 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周兴 | 申请（专利权）人 | 启东申通电子机械配件有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蒯建伟 |
| 地址 | 226200 江苏省南通市启东市汇龙镇新洪南路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 连续镀膜溅镀系统，包括吹扫室（3）和真空镀膜室（6），吹扫室（3）内设置辊轴输送装置（11），辊轴输送装置（11）上方依次设置清扫头（10）和吸尘口（8）；清扫头（10）通过转轴（9）连接伺服电机（1），伺服电机（1）固定在吹扫室（3）顶面；吸尘口（8）与吸尘管（7）连接，吸尘管（7）上设置电磁阀一（2）；吹扫室（3）和真空镀膜室（6）之间设置分隔板（4），分隔板（4）上设置输送口（12），辊轴输送装置（11）通过传输板（13）与镀膜架（14）连接；镀膜架（14）设置在镀膜室（6）内，镀膜室（6）顶部设置抽真空管（5）。本实用新型通过增设清扫头和吸尘口确保被镀塑料件无灰尘，提高溅镀质量。 |
