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一种等离子气体产生系统、方法、存储介质及电子设备

基本信息

申请号 CN202110122458.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112954876A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112954876A 申请公布日 2021-06-11
分类号 H05H1/46 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 胡雷 申请（专利权）人 苏州汉霄等离子体科技有限公司
代理机构 苏州瞪羚知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张宇
地址 215000 江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区贤士路88号7幢802-C
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种等离子气体产生系统、方法、存储介质及电子设备，包括：回路振荡电路，与回路振荡电路连接的升压变压器，与升压变压器连接的高压硅堆，与高压硅堆连接的第一槽振荡回路，与第一槽振荡回路连接的第二槽振荡回路；回路振荡电路用于将输入的原始三相交流电压进行功率调节，得到低压交流电压；高压硅堆用于将升压交流电压进行整流，得到直流目标电压；第一槽振荡回路用于根据反馈信号的栅极电流，对直流目标电压进行频率调节，得到第一槽振电压；第二槽振荡回路用于对第一槽振电压进行谐振处理，得到等离子产生电压，等离子产生电压用于对气体进行加热。这样，可以对气体进行感应加热，得到高温高速等离子体。