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一种射频电源控制方法、装置、存储介质及电子设备

基本信息

申请号 CN202110122460.1 申请日 -
公开（公告）号 CN112947153A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112947153A 申请公布日 2021-06-11
分类号 G05B19/042;C23C16/505;B01J2/00 分类 控制；调节;
发明人 胡雷 申请（专利权）人 苏州汉霄等离子体科技有限公司
代理机构 苏州瞪羚知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张宇
地址 215000 江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区贤士路88号7幢802-C
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种射频电源控制方法、装置、存储介质及电子设备，包括：响应于操作人员对高频感应等离子体制粉装置的电源参数的输入操作，确定射频电源的输入给定值；根据输入给定值确定可编辑控制器输出的模拟信号电流，并根据模拟信号电流调节可编辑控制器的控制参数；根据模拟信号得到预设电流大小的标准模拟信号；将标准模拟信号转换为预设电压大小的目标电压，并经分压电阻分压后输送给电源输出线圈；获取高频感应等离子体制粉装置的目标参数，并根据目标参数调整输入给定值以及控制参数。这样，基于闭环控制，可以对输出功率进行实时调节，并且严格隔离高压系统，提高了高频感应等离子体制粉装置的安全性。