一种乙硅烷的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201610299473.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105800616B | 公开（公告）日 | 2017-03-22 |
| 申请公布号 | CN105800616B | 申请公布日 | 2017-03-22 |
| 分类号 | C01B33/04(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 黄晓东;谢嵩嶽 | 申请（专利权）人 | 浙江迅鼎半导体材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 313000 浙江省湖州市红丰路1366号3幢1207-26室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种乙硅烷的制造方法，以硅化镁与氯化氨为原料进行反应，在液氨及催化剂存在下生成乙硅烷气体，反应温度为‑10℃‑‑50℃，反应压力为0.2‑1MPa，所述硅化镁与氯化氨的摩尔比为1:2‑5，所述催化剂为锌的配合物。本发明方法中乙硅烷是生产过程的主产品，因而可解决大规模生产乙硅烷的副产品问题，大大提高生产高纯乙硅烷的生产效率，耗能低，降低生产成本。 |
