一种乙硅烷反应釜
基本信息
| 申请号 | CN201610469364.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106145119A | 公开（公告）日 | 2016-11-23 |
| 申请公布号 | CN106145119A | 申请公布日 | 2016-11-23 |
| 分类号 | C01B33/04(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 黄晓东;谢嵩嶽 | 申请（专利权）人 | 浙江迅鼎半导体材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 313000 浙江省湖州市红丰路1366号3幢1207-26室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种乙硅烷反应釜，包括连接反应釜的加料系统、储槽，反应釜上方的出口，反应釜底部的排渣口，和反应釜内安装的高剪力型叶片搅拌器；所述加料系统内装有硅化镁和氯化铵，所述储槽内装有液氨，所述出口排出硅烷反应混合物，所述排渣口排出反应杂物，其特征在于，所述排渣口与水平面的夹角为30?60度。由于本发明的反应釜选择了优化设计，尤其是排渣口的夹角的设计，提高了排渣速度，节省了反应时间，生产成本较低，设备腐蚀性减小，可以连续稳定化生产。 |
