一种乙硅烷储罐
基本信息
| 申请号 | CN201620825790.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206036642U | 公开（公告）日 | 2017-03-22 |
| 申请公布号 | CN206036642U | 申请公布日 | 2017-03-22 |
| 分类号 | F17C1/00(2006.01)I;F17C13/00(2006.01)I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 黄晓东 | 申请（专利权）人 | 浙江迅鼎半导体材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 313000 浙江省湖州市红丰路1366号3幢1207-26室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种乙硅烷储罐，包括密封填充仓，真空夹套和支撑架，所述的密封填充仓为圆柱形壳体，所述壳体垂直固定在支撑架上，所述密封填充仓的顶部设有充填口，所述密封填充仓的下部设有凹陷的定位槽。本申请的乙硅烷储罐可使储罐在竖直状态下填装乙硅烷，保证储罐的填充效果，避免储罐过早溢满情况的发生，同时通过真空夹套的设计，提高了乙硅烷的保温效果，避免环境温度对乙硅烷储存的影响。 |
