等离子体发生装置
基本信息
| 申请号 | CN202020779604.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211792197U | 公开（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申请公布号 | CN211792197U | 申请公布日 | 2020-10-27 |
| 分类号 | H05H1/34(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 张宜东;蔡珑元;尹志尧 | 申请（专利权）人 | 中微惠创科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中微惠创科技（上海）有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号205室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种等离子体发生装置包括：阴极组件，包括阴极；阳极组件，包括阳极筒和包围阳极筒的阳极冷却腔，所述阳极冷却腔具有阳极冷却入口，所述阳极冷却入口用于向所述阳极冷却腔内输送冷却介质，所述冷却介质用于对阳极筒进行冷却，所述阳极筒的底部与阳极冷却腔之间通过螺纹连接，所述阳极筒与阴极之间形成等离子体发生空间。所述阳极筒与阳极冷却腔之间的密封性较好。 |
