用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置
基本信息
| 申请号 | CN202020779607.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212231792U | 公开（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申请公布号 | CN212231792U | 申请公布日 | 2020-12-25 |
| 分类号 | H05H1/34(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 张宜东;蔡珑元;尹志尧 | 申请（专利权）人 | 中微惠创科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中微惠创科技（上海）有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号205室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置，其中，阴极组件包括：阴极腔，包括阴极冷却入口、阴极放置槽和安装孔，安装孔设于阴极放置槽的外围，所述阴极冷却入口用于向所述阴极腔内输送冷却介质，所述阴极放置槽用于放置阴极替换部；第一固定件，置于所述安装孔内与阴极腔之间可拆卸连接，用于固定所述阴极替换部。所述阴极组件的阴极能够可拆卸，有利于降低阴极组件的更换成本。 |
