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等离子体发生装置

基本信息

申请号 CN202020778076.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211792195U 公开（公告）日 2020-10-27
申请公布号 CN211792195U 申请公布日 2020-10-27
分类号 H05H1/24(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 张宜东;蔡珑元;尹志尧 申请（专利权）人 中微惠创科技（上海）有限公司
代理机构 上海元好知识产权代理有限公司 代理人 中微惠创科技（上海）有限公司
地址 201306上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号205室
法律状态 -

摘要

摘要 一种等离子体发生装置包括：阴极组件，包括阴极；阳极组件，包括阳极筒和导磁筒，所述阳极筒包括第一区和第二区，所述阳极筒第一区的直径大于第二区直径，且所述第一区的中心到阴极底面的距离小于第二区的中心到阴极底面的距离，所述导磁筒环绕所述阳极筒的第二区的外部，所述导磁筒的内径小于所述阳极筒的第一区的外径，所述导磁筒由若干个导磁部组成，每个所述导磁部内设置至少一个凹槽，所述凹槽用于放置导磁体，所述阳极筒与阴极之间形成等离子体发生空间。所述导磁体的材料在磁导率较小的情况下就能对等离子体有较强的约束能力。