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一种芯片自动移盘装置及其移盘方法

基本信息

申请号 CN202210050539.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114538107A 公开（公告）日 2022-05-27
申请公布号 CN114538107A 申请公布日 2022-05-27
分类号 B65G49/07（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 詹登星;李建华;刘永兴;蔡文文;黄杰业 申请（专利权）人 东莞市安动半导体科技有限公司
代理机构 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 523000广东省东莞市寮步镇向西东区路17号2栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种芯片自动移盘装置及其移盘方法，包括工作台，所述工作台的前部固装有工控机主体，所述工作台的上部后方固装有X轴主体，所述X轴主体的前部两侧分别设有Z1轴组件和Z2轴组件，所述工作台的上部一侧固装有Y1轴驱动组件，所述Y1轴驱动组件的上部设置有一号载盘托架，所述工作台的上部另一侧固装有Y2轴驱动组件，所述Y2轴驱动组件的上部设置有二号载盘托架，所述工作台的上部固装有一号下CCD定位系统和二号下CCD定位系统。本发明可在CCD定位系统定位下通过Z1轴组件和Z2轴组件自动定位移盘，结构设计减少工序移动路径，有利于提高摆放的准确性，且能够提高加工效率，同时设备结构设计合理，结构紧凑。