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柔性基材表面处理装置和处理方法

基本信息

申请号 CN201210375805.5 申请日 -
公开（公告）号 CN102909871B 公开（公告）日 2015-05-20
申请公布号 CN102909871B 申请公布日 2015-05-20
分类号 B29C71/04(2006.01)I 分类 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工;
发明人 李章国;夏国涛;柳锡运;钟欣;江成军;余俊佼;胡健;杜圣峰 申请（专利权）人 深圳南玻显示器件科技有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 深圳南玻显示器件科技有限公司
地址 518000 广东省深圳市蛇口沿山路33号南玻工业大厦
法律状态 -

摘要

摘要 一种柔性基材表面处理装置，包括直流电源、真空装置、传输装置和置于真空装置中的阴极板和阳极板，阴极板正对阳极板，每块极板的外侧都分别设置有冷却水管，冷却水管包括进水管和出水管；阴极板正对阳极板的一侧设置有工艺气管。利用粒子轰击产生的热量直接作用于柔性基材进行烘烤脱气，加快柔性基材表面吸附水的脱离，缩短了脱气时间的同时还增加了柔性基材膜的脱气效果，克服了传统的因使用辐射传递热能的方式而导致脱气效率低的问题。同时由于电子对柔性基材的轰击，使得柔性基材的有机聚合饱和共价键活化成单链不饱和共价键，改变了原柔性基材的表面特性。