除静电方法和除静电装置

基本信息

申请号 CN201210315483.5 申请日 -
公开(公告)号 CN102833933B 公开(公告)日 2016-08-10
申请公布号 CN102833933B 申请公布日 2016-08-10
分类号 H05F3/04(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 夏国涛;柳锡运;江成军;钟欣;李章国 申请(专利权)人 深圳南玻显示器件科技有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 深圳南玻显示器件科技有限公司
地址 518000 广东省深圳市蛇口沿山路33号南玻工业大厦
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种除静电方法,包括:将需进行除静电处理的材料置于腔室内;对所述腔室进行抽真空处理;向所述腔室内通入用于电离的气体,使所述腔室内的压强维持在1.0*10-3~8.0*10-3托之间;对所述腔室内的尖端放电装置通电,使所述尖端放电装置电离所述气体,产生正负离子并中和所述材料上的静电荷。本发明还涉及一种除静电装置。本发明可以在真空度较高的环境下消除有机柔性基材在镀膜过程中所带的静电,满足了特殊工艺条件下消除材料静电的需求。